六甲基二硅氮烷，英文缩写HMDS，是一种重要的有机硅化合物，无色透明液体。易水解，分子式C6H19NSi2，熔点-78℃，沸点125℃，溶于有机溶剂，与空气接触会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚，在催化剂存在下，与醇或酚反应，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。用作气相法白炭黑表面疏水处理剂及有机合成反应中提供N原子的试剂，还可用作碳化硅纤维的助剂，提高碳化硅纤维的耐热性和强度，还可用作涂料的防沉淀剂。并用于制备有机硅化合物。